Forskningen inom det europeiska projektet Lab4MEMS har utökats med ytterligare ett projekt – Lab4MEMS II – som även integrerar optiska funktioner.. Projektet har en budget på 26 miljoner euro och leds av STMicroelectronics. Från Norden deltar norska SINTEF och Polewall AS.

Lab4MEMS II fokuserar på Mikro-Opto-Electro-Mekaniska Systems (MOEMS) och går ut på att utveckla, tillverka och testa nya kommersiellt gångbara komponenter baserade på den här tekniken samt standard mikrobearbetningstekniker för att miniatyrisera och bygga avancerade optiska system. Komponenter som ska tas fram inom projektet är optiska switchar, kedjor av mikrospeglar, optiska korskopplingar, lasrar, mikrolinser och mycket mera. Till exempel kan komponenterna komma att användas för optiska slutare i mikroprojektorer, lasermikroskannrar, nya generationens HMI och mikrospektrometrar.

Det ursprungliga projektet Lab4MEMS bibehåller sitt fokus på att utveckla en pilotlinje för nästa generations MEMS-enheter, som även inkluderar teknik för piezoelektriska eller magnetiska material och 3D-paketering.

20 industriella och akademiska forskningspartners spridda över nio europeiska länder deltar och projektet sorterar under det europeiska forskningsprogrammet ENIAC JU.  De enda nordiska representanterna i projektet är den norska forskningsorganisationen SINTEF och Powerwall AS.

Projektet leds av STMicroelectronics som uppges äga nästan 1000 MEMS-relaterade patent och som levererar mer än 4 miljoner MEMS-baserade enheter per dag. Tillverkningen kommer att ske i en produktionslina vid företagets 200 mm waferanläggning i Agrate Brianza som pilot, där nu även optisk teknik läggs till. Projektet kommer också att utvärdera de potentiella fördelarna och effekterna av en framtida övergång till 300 mm wafers.

– MOEMS är en lovande multi-funktionsteknik för miniatyrisering av kritiska optiska system som kommer att gynna samhället, medlemmarna i konsortiet och intressenter, inklusive Eniacs medlemsstater, genom att skapa värdefulla kunskapsbaserade arbetstillfällen, ökad långsiktig framgång och möjliggöra för produkter som gynnar samhället, säger Roberto Zafalon, European Programs Manager, R&D och Public Affairs, STMicroelectronics.

Förutom ST ingår följande partners i projektet: Politecnico di Torino och di Milano; Consorzio Nazionale Interuniversitario per la Nanoelettronica; CNR-IMM MDM; Commissariat Al Energie Atomique Et Aux Energies Alternatives; Arkema SA; University of Malta; Okmetic Abp; Murata Electronics; VTT Memsfab Ltd. Teknologian tutkimuskeskus VTT; Aalto-universitetet; KLA-Tencor ICOS; Universitet Politehnica i Bukarest – CSSNT; Instytut Technologii Elektronowej; Warszawa; Stiftelsen SINTEF; Polewall AS; och Besi Austria GmbH.

Filed under: Utländsk Teknik