Epiluvac AB i Lund har fått en order på deras avancerade reaktor för att tillverka halvledare i kiselkarbid. Ordern kommer från ett ledande forskningscenter i Europa.

Epiluvacs reaktor EPI-1000X har en helt ny typ av konstruktion. Såväl gasflöden som upphettningssystem är unika och de ger en potential till att drastiskt minska problem med partiklar och parasitära deponeringar.
Reaktorn är avsedd för enbart en wafer, men tack vare att tillväxthastigheten av deponeringen är snabb, effektiv återanvändning och ett minimum av parasitisk deposition är den också intressant för produktion.

– Detta är ytterligare ett steg i våra ambitioner att förse världens utvecklingslaboratorier med bästa möjliga CVD-verktyg, säger Bo Hammarlund, vd för Epiluvac AB.

Reaktorkonstruktionen är extremt lovande och vi gläder oss åt att kunna sätta denna nya reaktorkonstruktion på marknaden.
Den nya reaktortypen, som fortfarande rör sig om en hetväggsreaktor (”hot wall”) har simulerats in i minsta detalj. Temperaturprofilen inuti reaktorn kan justeras under tillväxtcykeln med ett antal olika upphettningszoner för att få optimal likformighet.
Installationen och leverans kommer att slutföras under första kvartalet i år.

Filed under: SvenskTeknik