Epiluvac AB, Sverige har utökat sitt avtal med SAMCO, Japan, för att verka som distributör till nordiska kunder.

Bilden ovan visar Epiluvacs egna CVD-reaktor för kiselkarbid, EPI-1000X, och SAMCOs nya AL-1 ALD-system.

Epiluvac AB grundades av Bo Hammarlund.

– Med detta samarbete mellan Epiluvac och SAMCO kan ge en ”on stop solution” och med vår expertis hjälpa kunderna att välja bästa kombinationen av utrustning för material med brett bandgap som SiC och GaN, säger Bo Hammarlund.
SAMCO erbjuder system och tjänster inom tre områden:
* Tunnfilmsdeposition med PECVD-, MOCVD- och ADL-system.
* Tillverkning av mikroelektronik med ICP-etsning, RIE och DRIE.
* Ytbehandling med plasmarengöring och med UV-baserad ozonrengöring.
Bo Hammarlund ser ett ökat behov av att kunna hantera 8 tums SiC-wafers, vilka redan finns ute på marknaden.
– Det leder till en stark efterfrågan av ny och förbättrad utrustning, något som Epiluvac och SAMCO kan erbjuda. Det innebär inte bara standardlösningar utan även kundspecificerad utrustning.

Filed under: SvenskTeknik