IMEC visar SRAM-celler i 22 nm
Posted on april 22nd, 2009 by Göte Fagerfjäll
Belgiska forskningsinstitutet IMEC visade idag världens första fungerande SRAM-celler i 22 nm CMOS, tillverkade med hjälp av EUV-teknologi.
De 0,099µm² stora SRAM-cellerna är tillverkade i FinFET- teknologi och använder ASMLs EUV-verktyg (Extreme Ultraviolet) Alpha Demo Tool för både kontaktlager och första metallager. De ultrasmå strukturerna tillverkades med hjälp av Applied Materials mest avancerade deponeringssystem. Den nya SRAM-cellen är med sina 0,099µm² ca hälften så stor som den SRAM-cell i 32 nm som IMEC visade förra året.
Filed under: Utländsk Teknik
