Det belgiska forskningscentrumet Imec har öppnat ett nytt renrum för 300 mm wafers. Den 4000 m² stora anläggningen utökar institutets totala renrumsyta för halvledarforskning till 12.000 m² och skall bidra till att skala processnoder under 7 nm.

Det nya renrummet uppfyller de senaste standarderna inom halvledarindustrin och skapar ytterligare utrymme för de mest avancerade verktygen som kommer att leda till innovationer för nya enheter och systemkoncept. Installationen av de första verktygen påbörjades i januari 2016 och det nya toppmoderna 300 mm renrummet kompletterar Imecs övriga produktionsanläggningar, inklusive dess bionanolaboratorier, neuroelektroniklabb, bildbehandling och trådlöst och elektroniktestlabb, pilotlinor för fotovoltaiska solceller, GaN- på-Si, kiselfotonik och MEMS pilotlinor.

Renrummet omfattar en total investering (byggnad och utrustning) på mer än 1 miljarder euro, varav 100 miljoner euro i finansiellt stöd från den flamländska regeringen och mer än 900 miljoner euro i investeringar för gemensam FoU från ledande aktörer inom hela halvledarindustrin – totalt mer än 90 industriella partners.

Filed under: Utländsk Teknik