Nocilis Materials AB är ett “spin off”-företag från KTH, 2011 startat av dr Henry Radamson and entreprenören civ ing Bo Hammarlund. Nu öppnar man portarna i Kista för världens kunder som behöver avancerad kisel-epitaxi.

Nocilis Materials AB gör epitaxi på basis av Si-Ge-Sn-C för såväl elektriska som fotoniska tillämpningar. Speciellt inriktar man sig på periodiska systemets material i grupp IV, med nischer som okylda detektorer för infrarött område och Teraherz-frekvenser och termoelektriska strukturer.
– Vi ser nu ett starkt intresse inom forskarvärlden för ett foundry för kisel-germanium-tenn-kol-legeringar. Dessutom kommer vi att satsa på strukturer och process av Seebeck-element, säger Bo Hammarlund.
Seebeckelement omvandlar värme till en likström, i motsats till ett Peltierelement som omvandlar en likström till kyla/värme (på respektive sida av elementet). Men principen är densamma, uppfunnen av Thomas Seebeck. Tidigare har man dock inte lyckats åstadkomma Seebeckelementen med annat än en mycket blygsam verkningsgrad.
– Vi hoppas kunna få fram Seebeckelement som också skulle kunna kapslas i Sverige. Epitaxitjänsterna bygger på RPCVD-teknik för tillväxt av epitaxi-lager på 4-, 6- och 8-tums substrat enligt följande:
* P-, As- och B-dopade Si- och SiGeSnC-lager (dopningsnivå 1015-1019 cm-3 på kisel, men beror vid kisellegeringar på materialsammansättningen).
* Selectiv epitaxi av dopade och odopade SiGeC-lager på mönstrade substrat.
* Flerlagersstrukturer (superlattices) av Si-eller Ge-baserade material.
* Ge (ej töjt) på Si
* Kompensering av töjda och hoptryckta SiGe-lager för att upphäva dislokationer.
* Töjt Si på underliggande SiGe-lager.
* Uttöjda Ge-lager (pågår).
Nocsilis kan även karakterisera material på epitaxiell film:
* Högupplöst scanning-elektronmikroskop (HRSEM) med avsyning, i plan eller “cross-sectional”.
* Högupplösande röntgendiffraktion (HRXRD): “Reciprocal lattice mapping” (RLM), “grazing angle”-mätningar, mätningar av materialspänningar (strain) och lagerprofiler över substratytan.  Analyserna syftar till att ge svar om ytjämnhet, sammansättning och graden av materialspänning, i planet eller vinkelrätt mot detta.
Verksamheten för Nocilis bedrivs inom Elecrumlabbet, men kan i en framtid komma att flyttas om produktionen blir mera omfattande.

Filed under: SvenskTeknik